2022中國光刻機現在多少納米

二零二零年對于中國半導體行業來說,是砥礪前行的一年,因為美國一紙禁令,必須使用EUV光刻機的華為五納米芯片,麒麟九零零零無法生產,讓很多國人既氣憤又無奈 。
可以說,每一位關心中國科技發展的小伙伴都在問,到底什么時候,我們國產光刻機能夠問世,到底什么時候,我們自己的光刻機能給華為代加工高端芯片?今天我們就來聊聊這個話題,做一個關于國產光刻機的小盤點,來梳理一下國產光刻機的發展現狀 。
今天我們先以問答的形式來進行,具體如下:
答案是有,生產企業是上海微電子 。
我們在上海微電子官網可以看到,二零一八年三月,上海微電子的九零nm光刻機項目通過正式驗收 。也就是說,我們的國產光刻機目前可以做到九零納米工藝 。
之前有網友爆料,上海微電子將于二零二零年一二月下線首臺采用ArF光源的SSA八零零/一零W光刻機,這是一臺國產浸沒式 DUV 光刻機,可實現單次曝光二八nm節點 。所以網絡里一直流傳著這個說法 。不過對于此消息,有人說是真的,有人說是假的 。讓人很是迷煳 。
為此,我特意進行了求證 。那么求證的過程中,我發現這樣一條信息,或許可以說明一些情況 。
它是一篇來自江蘇省開發區協會曾經發布的文章,標題為:科益虹源集成電路光刻光源制造及服務基地項目開工 。文章里提到,到二零二零年產品將與整機單位共同完成二八nm國產光刻機的集成工作 。
也就是說,科益虹源的準分子激光器將會配套到上海微電子的光刻機中,而這臺計劃中的光刻機可以實現二八納米工藝 。
因為發布渠道的屬性,我們基本上可以肯定,可以實現二八納米工藝的國產光刻機確有其事,并且原計劃是二零二零年下線 。
不過,不知道是什么原因,官網的這篇文章已經被刪除 。但可以在天眼查里科益虹源的相關頁面中看到,系統抓取留存的這條信息 。
另外,現在已經進入二零二一年,是否按照計劃完成了二八納米光刻機?我們在上海微電子官網或者其他官方網站都沒有查到相關信息 。
還有二則報道:
一個是方正證券去年發布的相關信息例顯示,國家 零二 專項光刻機項目二期擬于 二零二零 年 一二 月驗收由上海微電子設計集成的 一九三nm ArF 浸沒式 DUV 光刻機 。
二是知名媒體DIGITIMES曾報道,上海微電子有望在二零二一年四季度交付第二代深紫外光(DUV)光刻機,該設備可實現二八納米工藝 。
所以,基本上可以做實,上海微電子的確在做可以實現二八納米制程的國產DUV光刻機 。只是是否通過驗收,到底何時能交付,目前未知 。
二八納米將會是我們國產光刻機的最高工藝水平,嚴格來說,這個真的算不上高水平,它的前面還有一四、七、五、三、二,甚至是一nm 。
但是二八納米是成熟工藝,生產成本低,只要不追求極致性能的情況下,這種制程的芯片,其性能也夠用的,用來生產我們日常生活中的電子設備是沒有問題的,例如電視、電視盒子、音響、電梯、空調、微波爐、冰箱、汽車等等 。
或者你可以這樣理解,在小型設備中,需要更低制程的芯片,例如手機,因為空間有限,想要實現更好的性能,芯片就需要更加先進的生產工藝 。
另外,根據研究機構IC Insights發布的《二零二零-二零二四年全球晶圓產能》報告,預計到二零二四年,半導體制程格局將出現一零nm以下,一零-二零nm,二零nm以上工藝三分天下的格局,各自市場占有率約為一/三,而二八nm以上的成熟工藝在未來四年的市場份額沒有明顯變化,仍然有很大的市場 。

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